上海微電子裝備(集團)股份有限公司(簡稱SMEE)主要致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、制造、銷售及技術服務。公司設備廣泛應用于集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領域。
SMEE致力于以極致服務,造高端產品,創卓越價值,全天候、全方位、全身心地為顧客提供優質產品和技術服務。
SMEE已通過ISO27001信息安全、ISO9001質量管理和ISO14001環境管理等體系的國際認證,力求為客戶提供持續、穩定、高品質的產品和服務,并履行一個優秀的高科技企業的社會責任。
SMEE已通過GB/T29490企業知識產權管理規范認證,先后被評為“上海市專利工作和知識產權示范企業”、“國家級知識產權示范企業”、“國家企業技術中心”。
| 專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
| ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
| ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
| ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優秀獎(2019年) |
| 標準號 | 標準名稱 | 發布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
| GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2021-10-11 | 2022-05-01 | 詳情 |