著錄信息
- 專利名稱：α-重氮-1,3-二酮類化合物及由其制備的感光高分子聚合物
- 專利類型：發明
- 申請號：CN201010103810.1
- 公開(公告)號：CN101830827B
- 申請日：20100127
- 公開(公告)日：20140813
- 申請人：惠州市容大油墨有限公司,北京師范大學
- 發明人：鄒應全,劉陸,牛輝楠,吳君麗
- 申請人地址：516347 廣東省惠州市惠東縣稔山鎮海濱城開發區
- 申請人區域代碼：CN441323
- 專利權人：惠州市容大油墨有限公司,北京師范大學
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C07C245/18,C08F220/36,C08F220/60,C08F220/06,C08F220/14,C08F220/20,C08F220/18,C08F220/28
- 優先權：無
- 專利代理機構：北京北翔知識產權代理有限公司 11285
- 代理人：鐘守期;唐鐵軍
- 審查員：孫文倩
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
聚合物,感光高分子,酮類化合物,光致抗蝕劑組合物,化學增幅型抗蝕劑,抗蝕劑組合物,光致抗蝕劑,聚合物制備,成膜樹脂,化學增幅,制備方法,表皮層,單組分,抗蝕劑,分辨率,波長,化合物,感光,線寬,延遲
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