一、真空手套箱的使用方法

操作前

1、檢查氮氣瓶里是否有氮氣，氮氣要及時更換，氮氣的輸出壓力設定為0.5mpa。

2、檢查真空泵是否正常開啟。

3、檢查手套箱內循環是否打開。（凈化柱-I或凈化柱-II要打開其中的一個）

4、檢查設定里的上限壓力應為 1，下限壓力為0。

5、檢查氧和露點是否正常（氧為0.1ppm以下，露點-40以上）。

6、過渡艙真空泵應處于常開狀態。

操作時

1、系統工作中真空泵應保持開啟狀態。

2、當箱內氧氣濃度超出200PPM時，應通知設備維修人員進行系統操作，否則會破壞水、氧凈化系統。

3、在啟動循環前做檢查，是否在進行箱體情況或再生。如以上提及的操作正在進行，絕對禁止進行循環。

4、兩個凈化柱不可以同時再生。

A、再生前先保證手套箱內已被惰性氣體清洗干凈（H2O<200ppm）保證足夠的再生氣體供應。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。

B、啟動再生之前，請先確認相應的凈化柱循環已關閉。

C、再生過程需要24小時，一旦執行不能被斷開，再生開始后3-6小時通再生氣體注意再生氣的用量，適當調整再生氣體的壓力，包證再生氣在這3小時的充足供應，第6小時后可以關閉再生氣源。

D、再生過程中真空泵不可以關閉，不要觸摸凈化柱的頂部，以防燙傷。

E、再生一旦意外終止，請保證12小時內不能重新啟動該凈化柱的再生和循環否則將損壞設備。

5、作業中應注意保護作業手套不要被損壞。

二、真空手套箱的使用注意事項

1、請使用AC220V－50HZ的電源供電，同時注意設備的接地良好。

2、建議使用H2含量為5％－10％的混合氣源。H2含量低于5％，系統還原效果差；H2含量高于10％，可能會產生爆炸。

3、使用的氣源（混合氣體或惰性氣體）請保證其壓力值X的范圍如下：3kg≤X≤30kg（3bar≤X≤30bar；0.3MPA≤X≤3MPA）；當氣源的壓力值低于3kg時，系統不工作；當氣源的壓力值高于30kg時，管道可能會破裂。

4、氣體凈化系統補水箱內必須保證有充足的循環冷卻水，否則系統工作時會產生高溫。冷卻水的水源禁止使用冰鹽水或其他腐蝕性的液體。建議使用普通的自來水。

5、不得對真空手套箱箱體進行抽真空或充高正壓，箱體承受壓力范圍為：-3000Pa～ 3000Pa。

6、不得擊打、不得用利器劃傷箱體玻璃面板。

7、在對過渡艙抽真空時必須將過渡艙內門、外門，過渡艙上的閥門以及過渡艙與箱體連接的閥門全部關閉（除“過渡艙真空閥”），以免使箱體形成負壓而損壞箱體。

8、過渡艙內門和外門不得同時打開，以免外部氣體直接擴散到箱體內，破壞潔凈環境。

9、大過渡艙門要完全打開后才能推動門桿把門打開，以免擦刮破壞密封膠圈。

10、在開啟過渡艙內門前必須先保證過渡艙和箱體之間的壓力達到了平衡，否則過渡艙門無法開啟，如強行開啟會嚴重損壞過渡艙密封圈。

11、對過渡艙抽真空時，必須保證過渡艙內沒有放置密閉常壓（易碎）容器，以免損壞。

12、在對氣體凈化系統進行還原處理時必須保證有混合氣體和惰性氣體氣源，否則不能啟動系統的還原程序。

13、氣體凈化系統的冷卻水出口必須為常開，不得安裝閥門或堵上。

14、氣體凈化系統在進行凈化程序時必須保證箱體與氣體凈化系統之間的連接管道是暢通的。

15、氣體凈化系統的廢氣排出口應單獨連接，將廢氣排出室外或妥善處理。

16、真空泵在使用時須按說明書上的要求操作并保證有足夠的真空泵油。當真空泵油需要添加或更換時，請使用真空泵專用油或該真空泵的原裝真空泵油。