一、探針的種類有哪些

在晶圓或芯片測試的過程中，通常會使用探針來準確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測試機，以便檢測產品的導通性、電流性、功能性和老化性等性能指標。那么你知道探針的種類有哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個由螺旋彈簧組成的探針，其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起，以防止產生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞，以降低探針對被測試物體的壓力。在檢測集成電路時，信號會從下柱栓流向上方，形成導電路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探針為探針部提供適當的縱向位移，用于通過橫向懸臂接觸待測半導體產品，以避免探針部對待測半導體產品施加過大的針壓。

（3）垂直式探針

垂直探針可以對應高密度信號觸點的待測半導體產品的細間距排列，針尖接觸待測半導體產品所需的縱向位移可以通過針體本身的彈性變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金探針具有穩定的接觸電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易發生探針偏差。因此，鎢髁合金探針是目前性能良好的一種常見探針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用于對測試頻率比較敏感的測試環境；普通探針用于對信號衰減不敏感的測試環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質通常為316不銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不同材料的探針具有不同的化學惰性和機械性能，對探測的液體和氣體有不同的適應性。

（2）形狀：選擇探針的形狀應該根據實驗需求進行選擇，通常探針的形狀為直棒狀、U形、Z形等。考慮到實驗的靈敏度問題，在選用探針時必須與被測物相匹配。

（3）長度：探針的長度是下降液面幅度的關鍵因素。為獲得準確的下降水平，要根據實際測量需求選擇合適的長度。

（4）直徑：探針的粗細通常采用0.5mm至5mm之間。過粗的探針會影響測量的靈敏度，過細的探針則可能會導致探針的折斷。

（5）表面處理：在實驗中，探針處于探測的介質中，探針的表面形態和性質會直接影響到測量結果。因此，探針的表面要求經過光潔處理和表面處理。

2、探針的要求

（1）質量問題：在使用過程中應定期進行質量檢查。探針的質量差會導致測量誤差增大，嚴重時可能會損壞實驗設備。

（2）加工工藝問題：在探針的制作過程中，要保證探針的形狀、尺寸的精確與穩定。

（3）使用注意事項：避免在測量過程中引入空氣，勿使用有陷進、連續的探針以免擾動測量，對于使用多個探針進行測量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。

（4）存儲和保養問題：盡可能地保證存儲環境無除塵、避光性好；探針表面不能有刮傷等損壞，使用前應清洗干凈且消毒處理。