著錄信息
- 專利名稱：一種等離子體增強化學氣相沉積的控制系統
- 專利類型：發明
- 申請號：CN201310676060.0
- 公開(公告)號：CN103834934B
- 申請日：20131211
- 公開(公告)日：20160511
- 申請人：南方科技大學
- 發明人：何祝兵,王春柱,蘇奇聰
- 申請人地址：518000 廣東省深圳市南山區西麗學苑大道1088號
- 申請人區域代碼：CN440305
- 專利權人：南方科技大學
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C23C16/52
- 優先權：無
- 專利代理機構：廣州三環專利代理有限公司 44202
- 代理人：郝傳鑫;熊永強
- 審查員：金桂香
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
控制設備組,監控設備,工藝操作,以太網交換機,數據處理,等離子體增強化學氣相沉積,數據記錄查詢,參數配置,控制工藝,控制系統,實時監控,遠程監控,反應室,裝載室,連接,一種,執行,傳輸,操作,滿足,公開
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