著錄信息
- 專利名稱：一種磁控靶水冷罩
- 專利類型：實用新型
- 申請號：CN201220003299.2
- 公開(公告)號：CN202482420U
- 申請日：20120106
- 公開(公告)日：20121010
- 申請人：肇慶市振華真空機械有限公司
- 發明人：潘振強,張德云,肖祥軍
- 申請人地址：526060 廣東省肇慶市端州一路端州科技園內興華二路
- 申請人區域代碼：CN441202
- 專利權人：肇慶市振華真空機械有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C23C14/35
- 優先權：無
- 專利代理機構：廣州市南鋒專利事務所有限公司 44228
- 代理人：李永慶
- 審查員：無
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
磁控,擋板,冷卻水管,出水口,進水口,內壁,均勻排列,設備技術,裝置結構,裝置特征,安裝座,水冷罩,外側,冷卻,合格率,周圍
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