著錄信息
- 專利名稱：一種直拉單晶用加熱器
- 專利類型：實用新型
- 申請號：CN201520860066.8
- 公開(公告)號：CN205115667U
- 申請日：20151030
- 公開(公告)日：20160330
- 申請人：西安通鑫半導體輔料有限公司
- 發明人：吳丹
- 申請人地址：710300 陜西省西安市戶縣灃京工業園潭濱北路3號
- 申請人區域代碼：CN610125
- 專利權人：西安通鑫半導體輔料有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C30B15/14,C30B29/06
- 優先權：無
- 專利代理機構：西安弘理專利事務所 61214
- 代理人：羅笛
- 審查員：無
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
狹槽,加熱器主體,第二端部,第一端部,發熱單元,加熱段,加熱器,直拉單晶,一種,單晶硅,產品品質,交替設置,開口結構,溫度梯度,低缺陷,低雜質,多個相,高拉速,高品質,實用,延伸,兩個,開口,連接,優化,公開,適應,調整,進行
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