著錄信息
- 專利名稱：一種硅晶圓線切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅的回收方法
- 專利類型：發明
- 申請號：CN200810232782.6
- 公開(公告)號：CN101474511B
- 申請日：20081217
- 公開(公告)日：20110504
- 申請人：西安通鑫半導體輔料有限公司
- 發明人：奚西峰,宋涵
- 申請人地址：710000 陜西省西安市灃京工業園潭濱北路3號
- 申請人區域代碼：CN610125
- 專利權人：西安通鑫半導體輔料有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：B01D36/00,B01D37/00,C08J11/06,C08L71/08,C01B31/36
- 優先權：無
- 專利代理機構：西安通大專利代理有限責任公司 61200
- 代理人：惠文軒
- 審查員：李素燕
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
線切割,砂漿,硅晶圓,懸浮液,回收聚乙二醇,中空纖維超濾,碳化硅顆粒,懸浮液真空,單晶硅片,干法分級,離子交換,蒸餾,碳化硅,助濾劑,板框,固液,微孔,壓濾,黏劑,過濾,干燥,回收
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