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平面研磨機(jī)研磨的不平整是什么原因 平面研磨機(jī)研磨不平整怎么辦

摘要:平面研磨機(jī)有平整的研磨盤,可以對(duì)光學(xué)玻璃晶片、石英晶片、硅片等進(jìn)行研磨拋光。使用平面研磨機(jī)時(shí),有時(shí)會(huì)出現(xiàn)研磨不平整,工件出現(xiàn)凹凸面的情況,這可能是研磨盤不平、復(fù)雜受力作用影響、沒有按照工件被研表面的大小和高度比例來(lái)確定運(yùn)動(dòng)的速度和方向等原因造成的,可以通過(guò)修整研磨盤平面度、采用凸形表面的研磨平板等方法解決。下面一起來(lái)了解一下平面研磨機(jī)研磨的不平整是什么原因吧。

一、平面研磨機(jī)簡(jiǎn)介

平面研磨機(jī)是一種精密研磨拋光設(shè)備,被磨、拋材料放于平整的研磨盤上進(jìn)行研磨處理,工件與研磨盤作相對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)磨擦,來(lái)達(dá)到研磨拋光目的,廣泛用于LED藍(lán)寶石襯底、光學(xué)玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、模具、導(dǎo)光板、光扦接頭等各種材料的單面研磨、拋光。

二、平面研磨機(jī)研磨的不平整是什么原因

平面研磨機(jī)研磨出來(lái)的工件應(yīng)該是平整的,如果研磨后工件出現(xiàn)凹凸面,可能原因有以下幾點(diǎn):

1、研磨盤不平,研磨機(jī)對(duì)研磨平板的重要作用是研磨平板本身的表面幾何形準(zhǔn)確地傳遞給被研磨工件,如果研磨平面不是理想平面,那么被研工件的表面也很難得到高精度平面。

2、受到動(dòng)力矩、扭轉(zhuǎn)力矩及運(yùn)動(dòng)慣性力等復(fù)雜受力作用的影響,促成了研磨過(guò)程中移動(dòng)的不平穩(wěn)性,造成了工件邊緣受力重、被磨掉的多,呈現(xiàn)凹狀。

3、沒有按照工件被研表面的大小和高度比例來(lái)確定運(yùn)動(dòng)的速度和方向。

4、沒有放在工件的中間位置而導(dǎo)致工件強(qiáng)制受力或著力不均。

5、控制環(huán)內(nèi)的工件之間的間隙過(guò)小,工件表面的每個(gè)點(diǎn)在研磨盤上的摩擦軌跡就會(huì)疏密不等,影響密封環(huán)的平面度,有時(shí)甚至?xí)构ぜ斊穑斐裳心ケ砻嫫保瑢?dǎo)致研磨不平整。

三、平面研磨機(jī)研磨不平整怎么辦

平面研磨機(jī)出現(xiàn)研磨不平整的現(xiàn)象時(shí),要及時(shí)處理,以免生產(chǎn)的工件不合格,一般處理方法如下:

1、首先檢查研磨盤平面度,研磨盤平面度是研磨的基準(zhǔn),是得到精密工件平面的保證,平面研磨機(jī)的研磨盤需定期修整平面,修整的方法有兩種:一是采用基準(zhǔn)平面電鍍金剛石修整輪來(lái)修面,二是通過(guò)修整機(jī)構(gòu)修面。

2、如果是受到動(dòng)力矩、扭轉(zhuǎn)力矩及運(yùn)動(dòng)慣性力等復(fù)雜受力作用的影響造成的不平整,則可以采用凸形表面的研磨平板來(lái)補(bǔ)償,不僅可以解決因磨損不均造成的質(zhì)量問(wèn)題,也可以使研磨平板壽命得到延長(zhǎng)。

3、如果是工件間隙過(guò)小引起的,則調(diào)整控制環(huán)內(nèi)的工件之間的間隙即可。

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