一、激光干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

1.校準(zhǔn)環(huán)境

溫度：校準(zhǔn)環(huán)境溫度應(yīng)控制在20℃±2℃范圍內(nèi)，且在校準(zhǔn)過(guò)程中溫度波動(dòng)應(yīng)盡量小。溫度的變化會(huì)導(dǎo)致激光波長(zhǎng)的改變，從而影響測(cè)量精度。

濕度：環(huán)境濕度應(yīng)保持在40%-60%的范圍內(nèi)，以避免高濕度導(dǎo)致光學(xué)元件表面吸附水分，影響激光的傳播和反射。

振動(dòng)：應(yīng)將激光干涉儀放置在隔振平臺(tái)上，以減少地面振動(dòng)、設(shè)備運(yùn)行等產(chǎn)生的振動(dòng)影響。隔振平臺(tái)應(yīng)確保水平，并且與周圍設(shè)備保持一定的距離，以減少振動(dòng)源的干擾。

空氣紊流：避免空氣流動(dòng)對(duì)光路的影響，確保測(cè)量環(huán)境的穩(wěn)定性。

2.校準(zhǔn)設(shè)備

標(biāo)準(zhǔn)具：采用已知長(zhǎng)度的標(biāo)準(zhǔn)具或基準(zhǔn)尺作為參考，如高精度的量塊等。這些標(biāo)準(zhǔn)具的精度應(yīng)經(jīng)過(guò)嚴(yán)格標(biāo)定，其長(zhǎng)度值可追溯到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

環(huán)境補(bǔ)償單元：配備壓力、溫濕度傳感器，實(shí)時(shí)修正環(huán)境因素對(duì)光波傳播的影響。

清潔工具：使用無(wú)水乙醇、鏡頭紙等工具輕輕擦拭激光發(fā)射器和接收器的光學(xué)窗口，以及反射鏡的表面，確保光學(xué)元件的清潔。

二、激光干涉儀校準(zhǔn)方法

1.工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)直線度

校準(zhǔn)方法：將自準(zhǔn)直儀或激光干涉儀的反射鏡安裝在移動(dòng)工作臺(tái)上，使其光軸與工作臺(tái)移動(dòng)方向一致。在裝置工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)的行程內(nèi)測(cè)量豎直與水平方向的直線度，分別作為工作臺(tái)豎直和水平方向的運(yùn)動(dòng)直線度校準(zhǔn)結(jié)果。

技術(shù)要求：工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向的運(yùn)動(dòng)直線度豎直方向一般不超過(guò)2μm/m，水平方向一般不超過(guò)10μm/m。

2.瞄準(zhǔn)重復(fù)性

動(dòng)態(tài)瞄準(zhǔn)重復(fù)性：當(dāng)激光干涉儀采用光電顯微鏡或影像測(cè)頭進(jìn)行動(dòng)態(tài)瞄準(zhǔn)時(shí)，需校準(zhǔn)動(dòng)態(tài)瞄準(zhǔn)重復(fù)性。將標(biāo)準(zhǔn)線紋尺安裝在工作臺(tái)面上的任意位置，任取線紋尺一端的5個(gè)毫米線間隔，重復(fù)測(cè)量10次，記錄測(cè)量值。按公式計(jì)算樣本合并標(biāo)準(zhǔn)差作為光電顯微鏡瞄準(zhǔn)重復(fù)性的校準(zhǔn)結(jié)果。

靜態(tài)瞄準(zhǔn)重復(fù)性：當(dāng)激光干涉儀采用影像測(cè)頭進(jìn)行靜態(tài)瞄準(zhǔn)時(shí)，需校準(zhǔn)靜態(tài)瞄準(zhǔn)重復(fù)性。將標(biāo)準(zhǔn)線紋尺安裝在工作臺(tái)面上的任意位置，選取一個(gè)線間隔，利用影像測(cè)頭直接測(cè)量。共選取5個(gè)線間隔，重復(fù)以上過(guò)程，記錄測(cè)量值。按公式計(jì)算樣本合并標(biāo)準(zhǔn)差作為影像測(cè)頭瞄準(zhǔn)重復(fù)性的校準(zhǔn)結(jié)果。

3.測(cè)量重復(fù)性

校準(zhǔn)方法：將標(biāo)準(zhǔn)線紋尺按照激光干涉儀操作要求安裝于工作臺(tái)上，對(duì)均勻分布于標(biāo)準(zhǔn)線紋尺全量程的10個(gè)刻線（包含標(biāo)準(zhǔn)線紋尺最大示值刻線）相對(duì)于零刻線的線間距進(jìn)行4次重復(fù)測(cè)量。利用極差法計(jì)算上述10個(gè)線間距的實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差，以實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差的最大值作為測(cè)量重復(fù)性的校準(zhǔn)結(jié)果。

4.影像測(cè)頭示值誤差

校準(zhǔn)方法：選擇線紋尺作為標(biāo)準(zhǔn)器，線紋尺分度值應(yīng)滿足在影像測(cè)頭視場(chǎng)內(nèi)至少有5個(gè)測(cè)量間隔。調(diào)整影像測(cè)頭視場(chǎng)大小，使線紋尺的刻線處于視場(chǎng)內(nèi)的測(cè)量位置。在工作臺(tái)不做任何移動(dòng)的情況下測(cè)量視場(chǎng)內(nèi)刻線相對(duì)于“0”刻線的線紋間距。對(duì)各線間隔重復(fù)測(cè)量3次，以其平均值作為測(cè)量值。

結(jié)果處理：將測(cè)量值與線紋尺的參考值進(jìn)行比較，以其最大差值作為影像測(cè)頭示值誤差。

5.示值誤差

校準(zhǔn)方法：將標(biāo)準(zhǔn)線紋尺按照激光干涉儀操作要求安裝于工作臺(tái)上，測(cè)量各刻線相對(duì)于零刻線的線間距。測(cè)量時(shí)可按照激光干涉儀的操作要求進(jìn)行溫度修正。線紋尺零刻線在左端連續(xù)測(cè)量4次，調(diào)整方向，零刻線在右端再連續(xù)測(cè)量4次，取8次測(cè)量結(jié)果的平均值作為測(cè)量值。

結(jié)果處理：將測(cè)量值與標(biāo)準(zhǔn)線紋尺的參考值進(jìn)行比較，其差值作為激光干涉儀的示值誤差。